半導體(ti) 器件是導電性介於(yu) 良導電體(ti) 與(yu) 絕緣體(ti) 之間,利用半導體(ti) 材料特殊電特性來完成特定功能的電子器件,可用來產(chan) 生、控製、接收、變換、放大信 號和進行能量轉換。為(wei) 了與(yu) 集成電路相區別,有時也稱為(wei) 分立器件。絕大部分二端器件(即晶體(ti) 二極管)的基本結構是一個(ge) PN結。那麽(me) 達林頓芯片半導體(ti) 元器件製造工藝及缺陷?
1、芯片加工中的缺陷與(yu) 成品率預測
芯片製造缺陷的分類:
全局缺陷:光刻對準誤差、工藝參數隨機起伏、線寬變化等;在成熟、可控性良好的工藝線上,可減少到極少,甚至幾乎可以消除。
局域缺陷:氧化物針孔等點缺陷,不可完全消除,損失的成品率更高。
點缺陷:冗餘(yu) 物、丟(diu) 失物、氧化物針孔、結泄漏。
來源:灰塵微粒、矽片與(yu) 設備的接觸、化學試劑中的雜質顆粒。
2、混合集成電路的失效
混合集成電路工藝:
IC工藝:氧化、擴散、鍍膜、光刻等。
厚膜工藝:基板加工、製版、絲(si) 網印刷、燒結、激光調阻、分離元器件組裝等。
薄膜工藝:基板加工、製版、薄膜製備、光刻、電鍍等。
失效原因:
元器件失效:31%。
互連失效:23%。
引線鍵合失效、芯片粘結不良等沾汙失效:21%
關(guan) 於(yu) 混合集成電路:
按製作工藝,可將集成電路分為(wei) :
(1)半導體(ti) 集成電路(基片:半導體(ti) )
即:單片集成電路(固體(ti) 電路)
工藝:半導體(ti) 工藝(擴散、氧化、外延等)
(2)膜集成電路(基片:玻璃、陶瓷等絕緣體(ti) )
工藝:
薄膜集成電路——真空蒸鍍、濺射、化學氣相沉積技術
厚膜集成電路——漿料噴塗在基片上、經燒結而成(絲(si) 網印刷技術)
3、混合集成電路(Hybrid Integrated Circuit)
特點:充分利用半導體(ti) 集成電路和膜集成電路各自的優(you) 點,達到優(you) 勢互補的目的;
工藝:用膜工藝製作無源元件,用半導體(ti) IC或晶體(ti) 管製作有源器件。
聲明:本網站原創內(nei) 容,如需轉載,請注明出處;本網站轉載的內(nei) 容(文章、圖片、視頻)等資料版權歸原網站所有。如我們(men) 采用了您不宜公開的文章或圖片,未能及時和您確認,避免給雙方造成不必要的經濟損失,請電郵聯係我們(men) ,以便迅速采取適當處理措施;郵箱:limeijun@transql.com